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신기방기 EUV 장비에서 사용되는 기술
이 글보고 문득 생각나서 써보는 글임반도체 장비 기업 ASML은 누구나 한번쯤 들어보았을 것이다이 기업이 반도체 업계에서 슈퍼 을로 통하고 있다는데 그 이유는 바로 EUV장비를 여기에서 밖에 만들지 못하기 때문임EUV(Extreme UltraViolet) 장비는 이름 그대로 극자외선을 이용하는 장비인데그 EUV를 이용해서 원하는 회로패턴을 웨이퍼에 새기는 작업을 함최첨단 반도체 생산을 위해서 반드시 필요한게 EUV장비인데 그걸 ASML이 독점생산하고 있으니아무리 비싸고 만드는데 오래걸려도 반도체 기업들이 줄을 서서 사려고 하는 것임근데 그렇게 중요한 장비라면 왜 다른 기업에서 만들려고 하지 않는 것일까?EUV 장비에서 사용하는 신기한 기술들 몇개를 보면서 그 이유를 알아보자1. 광원 생성EUV를 이용하는 장비이니 당연히 EUV를 생성하는 기능이 있다.하지만 EUV는 13.5nm로 굉장히 짧은 파장을 가지는데이런 빛을 만들기 위해서는 독특한 방법이 필요하다바로 주석(Sn)을 플라즈마화 시키는 것이다.위 움짤을 보면 움직이는 주석 방울에 레이저가 두번 맞는걸 볼 수 있다초속 70미터의 속도로 융용 주석 방울이 발사되면그걸 첫번째 저강도 레이저가 맞혀서 주석 방울을 넓게 퍼뜨려 평평하게 만든다그리고 두번째 고강도 레이저가 맞혀서 주석을 플라즈마로 만들고 EUV를 방출시킨다그리고 이 과정을 초당 5만번 반복한다이렇게 만들어진 빛은 거울로 모아서 웨이퍼로 향하는 광학계로 보내진다2. 광학계EUV 장비 속 광학계, 위에서 움직이는 게 레티클, 아래에서 움직이는게 웨이퍼다EUV의 특성상 극도로 흡수가 잘되기 때문에 광학계에 렌즈는 거의 사용하지 못하고주로 흡수율이 낮은 특수한 거울만든다물론 공기에도 흡수되기때문에 내부는 진공임이 광학계의 정확도는 지구에서 쏜 빛으로 달에 있는 100원 동전을 맞힐 수준이다3.레티클(마스크)레티클, 마스크라고도 하는데 회로패턴이 새겨진 유리판이다일반적인 마스크는 투과형으로 빛이 통과하면서 그 패턴을 가져가는데EUV는 흡수가 되기때문에 마스크도 반사형으로 만들어야한다이 레티클은 빛의 간섭을 이용하는 다층 반사기로 패턴을 구현하였으며레티클을 움직이는 레티클 스테이지는 최고속력 3.2m/s의 관성을 완벽히 상쇄하며웨이퍼 스테이지와 완벽히 동시에 움직여 그 패턴을 새긴다동시에 두 웨이퍼를 처리하는 웨이퍼 스테이지,진공상태를 유지하는 배기시스템이나 온도를 관리하는 쿨링시스템 등그 외 여러가지 기술들이 있지만EUV에서 사용하는 기술들 말고도 ASML이 사용하는 신기한 기술들은 또 있다움직이는 웨이퍼와 렌즈 사이의 공기층을 물로 채워 노광작업을 진행시키는 액침노광기술(공기보다 높은 굴절률을 이용해서 더 좋은 해상도를 구현한다)4096개의 미세거울을 컨트롤해서 렌즈없이 원하는 조명패턴을 만들어내는FlexRay기술등이 있다(간섭패턴에 영향을 줘서 빛의 세기를 높일 수 있음)
작성자 : ㅇㅇ고정닉
싱글벙글 한국 바가지 근황
안녕하세요 일본에서 학교 다니고 있습니다.얼마 전 친구들이 한국 여행을 간다고 서울에서 갈만한 곳을 추천해달라하더라군요물론 요즘 핫 한 곳에서 치안이 좋고 외국인 바가지가 심하지 않은 곳들을 몇몇 곳 추천해줬습니다.명동은 웬만하면 가지 말고 가더라도 구경만 하고 물건이나 길거리 음식은 사 먹지 말도록 하라고 충고도 해주었습니다.인스타 스토리로 보니 재밌게 잘 다니고 있어서 안심했습니다. 그러던 중 어제 갑자기 전화가 오더니 명동 화장품 가게에서 한 사람 당 120만원씩 두명해서 240만원이 결제 되었다고 하더군요.그래서 바로 전화를 걸어 상황을 확인해봤습니다.명동에 도착하니 어떤 아저씨?가 안내를 해주겠다며 이곳 저곳 안내를 해주었고 예상대로 마지막엔 자신과 관련이 있는 화장품 가게에 들러 화장품을 사게 했다는 겁니다.친구들은 안내를 친절하게 해준게 고마워 보답이라 생각하고 물건을 어느 정도는 살 생각이 있었던건지 화장품 몇 개를 사려한 것 같습니다.하지만.. 이게 웬걸?~! 영수증을 보니 찍힌 금액은 한 사람 당 120만원 둘이 해서 240만원이였습니다.당황한 친구는 즉시 환불을 요청하였지만, 가게 점원은 가게 문을 닫고 도망치듯 퇴근을 한 상태라 결국 환불을 못하고 숙소로 돌아가야만 했습니다.그리고 다음날, 저는 우선 경찰서에 친구들을 보내 상황을 설명하려 했습니다.하지만 경찰분은 그건 경찰이 하는 일이 아니라 하셨고 결국 관광안내소의 직원분과 함께 가게에 들러 환불을 하려 했습니다.먼저 출근한 직원은 어제의 상황을 모르는 것인지 환불은 무조건적으로 안된다라며 잡아 뗐습니다. (녹음파일 있음)그래서 안내인분은 그럼 담당자가 언제 오는지 물었고 12시30분에 온다고 직원은 말했고, 친구들과 안내인분은 기다리기로 하였습니다.하지만 이게 한, 두 번이 아닌 듯한 게 친구들은 귀국 비행기가 당일 5시였고 그날만 넘기면 어떻게든 무마된다는 생각을 한다는게 확실하게 보였습니다.담당자가 오고 몇 차례 실랑이가 오가고 결과는 환불거절이였습니다..이유는 영수증과 매점 내의 쓰여진 환불 불가라는 안내판이였습니다.언제부터 한국에서 물건을 사고 그 물건에 대한 손상도 없는데 환불이 안됐었나요?저는 처음에 바가지 씌웠다는 말을 듣고 정말 부끄러웠습니다. 일본에서 생활하며 저는 항상 일본사람들은 친절하다고 느꼈고 실제로도 제 주변의 사람들은 친절하게 저를 대해줬습니다.그래서 저는 항상 누군가 일본에 여행을 간다하면 제가 느낀 감정을 조금이라도 느낄 수 있게 최대한 많이 알아봐서 정보를 알려주었습니다.근데 이렇게 뒤통수를 맞고 정말 멍한 기분이였습니다.결국 친구들은 비행기를 타고 귀국을 하게 되고, 제 한국 친구가 환불을 할 수 있게 물건과 카드와 영수증을 지하철 락커에 보관하고 물건을 찾아 환불을 하려 했습니다.친구가 일을 마치기 전에 저는 화장품 회사 본사에 연락을 취했지만, 그 매장은 이름만 걸고 자기들 물건을 떼서 파는 곳이라 전혀 상관이 없다는겁니다.. 본사마저 해결 할 수 없다는 말을 듣고 허탈함에 공정거래위원회에 민원을 넣어보겠다 하니 그제서야 좀 친절해졌습니다.그리하여 본사와 그 지점이 연락을 하고, 제 지인이 환불을 하러 갔지만, 전액 환불은 불가능하고 30만원어치를 사야 환불 해준다는 어이없는 말을 들었습니다.하지만, 어찌할 방법이 없었던 지인은 30만원의 결제를 하고 결국 환불을 받았습니다.제가 낮에 전화하며 들어보니 사장님은 한국 분이 아니시더군요.물론 이게 핑계가 되지 않겠지만 한국에서 당한 일이니 제가 부끄러운건 사실이였습니다.정말 억울한 마음에 글이라도 남기면 명동 외국인 바가지가 다시 한 번 화두에 올라 사라지지 않을까 하는 마음에 하소연 해봅니다. 긴 글 읽어주셔서 감사합니다-------------3줄요약-----------------1. 일본인이 명동에서 240만원 강매당함.2. 아무런 도움을 받지 못했고 본사는 꼬리를 자르려 함3. 결국 환불을 받았지만 마지막까지 30만원을 강매하며 해피엔딩
작성자 : 경미니양고정닉
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