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신기방기 EUV 장비에서 사용되는 기술
이 글보고 문득 생각나서 써보는 글임반도체 장비 기업 ASML은 누구나 한번쯤 들어보았을 것이다이 기업이 반도체 업계에서 슈퍼 을로 통하고 있다는데 그 이유는 바로 EUV장비를 여기에서 밖에 만들지 못하기 때문임EUV(Extreme UltraViolet) 장비는 이름 그대로 극자외선을 이용하는 장비인데그 EUV를 이용해서 원하는 회로패턴을 웨이퍼에 새기는 작업을 함최첨단 반도체 생산을 위해서 반드시 필요한게 EUV장비인데 그걸 ASML이 독점생산하고 있으니아무리 비싸고 만드는데 오래걸려도 반도체 기업들이 줄을 서서 사려고 하는 것임근데 그렇게 중요한 장비라면 왜 다른 기업에서 만들려고 하지 않는 것일까?EUV 장비에서 사용하는 신기한 기술들 몇개를 보면서 그 이유를 알아보자1. 광원 생성EUV를 이용하는 장비이니 당연히 EUV를 생성하는 기능이 있다.하지만 EUV는 13.5nm로 굉장히 짧은 파장을 가지는데이런 빛을 만들기 위해서는 독특한 방법이 필요하다바로 주석(Sn)을 플라즈마화 시키는 것이다.위 움짤을 보면 움직이는 주석 방울에 레이저가 두번 맞는걸 볼 수 있다초속 70미터의 속도로 융용 주석 방울이 발사되면그걸 첫번째 저강도 레이저가 맞혀서 주석 방울을 넓게 퍼뜨려 평평하게 만든다그리고 두번째 고강도 레이저가 맞혀서 주석을 플라즈마로 만들고 EUV를 방출시킨다그리고 이 과정을 초당 5만번 반복한다이렇게 만들어진 빛은 거울로 모아서 웨이퍼로 향하는 광학계로 보내진다2. 광학계EUV 장비 속 광학계, 위에서 움직이는 게 레티클, 아래에서 움직이는게 웨이퍼다EUV의 특성상 극도로 흡수가 잘되기 때문에 광학계에 렌즈는 거의 사용하지 못하고주로 흡수율이 낮은 특수한 거울만든다물론 공기에도 흡수되기때문에 내부는 진공임이 광학계의 정확도는 지구에서 쏜 빛으로 달에 있는 100원 동전을 맞힐 수준이다3.레티클(마스크)레티클, 마스크라고도 하는데 회로패턴이 새겨진 유리판이다일반적인 마스크는 투과형으로 빛이 통과하면서 그 패턴을 가져가는데EUV는 흡수가 되기때문에 마스크도 반사형으로 만들어야한다이 레티클은 빛의 간섭을 이용하는 다층 반사기로 패턴을 구현하였으며레티클을 움직이는 레티클 스테이지는 최고속력 3.2m/s의 관성을 완벽히 상쇄하며웨이퍼 스테이지와 완벽히 동시에 움직여 그 패턴을 새긴다동시에 두 웨이퍼를 처리하는 웨이퍼 스테이지,진공상태를 유지하는 배기시스템이나 온도를 관리하는 쿨링시스템 등그 외 여러가지 기술들이 있지만EUV에서 사용하는 기술들 말고도 ASML이 사용하는 신기한 기술들은 또 있다움직이는 웨이퍼와 렌즈 사이의 공기층을 물로 채워 노광작업을 진행시키는 액침노광기술(공기보다 높은 굴절률을 이용해서 더 좋은 해상도를 구현한다)4096개의 미세거울을 컨트롤해서 렌즈없이 원하는 조명패턴을 만들어내는FlexRay기술등이 있다(간섭패턴에 영향을 줘서 빛의 세기를 높일 수 있음)
작성자 : ㅇㅇ고정닉
도시를 가장 상징하는 거리(장소)에 대해.
59.16 NLP랜드마크가 그 도시를 상징하는 건축물이나 조형물을 의미한다면 그 도시를 상징하는 거리나 장소는 가장 먼저 가봐야 하는곳으로 보통 가장 중심부 혹은 유니크하거나 가장 유명한 곳인 경우가 많습니다.뉴욕의 타임스퀘어브로드웨이와 W42번가, 7번가가 교차하는 미드타운의 가장 중심에 위치한 타임스퀘어는 세계에서 가장 화려한 거리로 잠들지않는 도시 뉴욕을 상징합니다런던의 피카딜리서커스피카딜리가와 리전트가가 교차하는 피카딜리서커스는 소호지역의 뮤지컬극장가와 쇼핑가를 연결하는 장소로 글로벌기업들의 유럽시장 마케팅의 중심입니다파리의 샹젤리제콩코드광장에서 개선문까지 이어지는 가로수대로인 샹젤리제는 세계적인 명품브랜드 본점들이 밀집된 세계에서 가장 유명한 쇼핑가로 꼽힙니다도쿄의 긴자금융가인 니혼바시인근에 위치한 긴자는 도쿄를 상징하는 쇼핑가이자 번화가로 리들리스콧 미래영화 블레이드러너의 소재로 등장하는등 서구인들에게 가장 잘 알려진 일본의 거리입니다서울의 종로 광화문앞조선의 정궁인 광화문앞의 광화문광장과 청계천, 종각등 일대는 여행객들이 가장 먼저 찾는곳으로 서울의 가장 상징적인 곳이라할수 있습니다싱가포르의 마리나베이고층빌딩들과 최고급쇼핑몰, 최고급호텔이 모여있는 마리나베이는 싱가포르의 가장 대표적인 장소로 특히 머라이언상이 있는 머라이언파크일대가 포토존으로 가장 유명합니다LA의 헐리웃대로로데오거리와 더불어 LA에서 가장 유명한 거리인 헐리우드대로는 세계 영화산업을 지배하는 헐리우드의 메인스트리트로 전세계에서 수많은 사람들이 찾습니다시카고의 미시건에비뉴시카고도심을 남북으로 종단하는 메인스트리트인 미시건에비뉴는 특히 최대쇼핑가인 노스미시건에비뉴(매그니피션트마일)와 사우스미시건에비뉴사이를 잇는 두세이블다리 주변이 시카고의 상징적인 장소로 가장 유명합니다토론토의 던다스스퀘어대표적인 쇼핑가인 영스트리트와 던다스스트리트의 교차지점에 위치한 토론토 최대번화가로 캐나다의 타임스퀘어로 불립니다시드니의 서큘러키서큘러키는 랜드마크인 오페라하우스에서 하버브릿지까지 시드니코브를 따라 인공적으로 만들어진 수변거리로 호주의 상징적인 장소일뿐 아니라 지하철,버스,트램,페리의 환승장이 있는 교통의 허브입니다멜버른의 플린더스스트리트플린더스스트리트는 야라강을 따라 이어지는 번화가로 도로의 양옆으로 페더레이션스퀘어, 플린더스스트리트역, 세인트폴성당등 멜버른의 대표적인 명소와 건축물들이 위치합니다샌프란시스코의 롬바드스트리트언덕의 도시 샌프란시스코 그중 롬바드스트리트는 8개의 급커브로 이뤄진 세계에서 가장 구불구불한 도로로 샌프란시스코에서 가장 유명한 거리입니다마드리드의 그란비아거리센트로에 위치한 마드리드의 최고번화가이자 쇼핑가인 그란비아거리를 중심으로 아름다운 상업건물들과 작은 거리들이 연결되어 마드리드의 문화를 느낄수있습니다바르셀로나의 구엘공원사그라다파밀리아대성당이 바르셀로나의 랜드마크건축물이라면 구엘공원은 가우디의 숨결을 느낄수있는 바르셀로나에서 가장 인기있는 여행명소이자 세계적으로 유명한 공원입니다베를린의 쿠담거리서베를린의 중심부에 위치힌 쿠담거리는 베를린의 대표적인 쇼핑가로 2차대전 연합군의 공습으로 폐허가 된 카이저빌헬름기념교회등 베를린의 역사와 전후 재건을 엿볼수있는 상징적인 장소입니다암스테르담의 담락거리암스테르담중앙역에서 담광장까지 운하를 따라 이어지는 담락거리는 암스테르담의 대표적인 번화가로 거리를 따라 왕궁,박물관,구교회등 관광명소들이 밀집해있습니다밀라노의 두오모광장랜드마크인 두오모대성당이 위치한 두오모광장은 밀라노여행의 중심이자 밀라노에서 가장 많은 사람들이 붐비는 장소입니다브뤼셀의 그랑플라스그랑플라스는 브뤼셀의 가장 중심부에 위치하며 시청사와 박물관 및 길드하우스등의 역사적건축물들이 광장을 둘러쌓고 있어 세계에서 가장 아름다운 광장으로 불립니다베른의 마르크트거리마르크트거리는 지트글로게에서 베렌광장의 감옥탑까지 이어지는 300여미터의 거리로 베른 구시가의 메인거리입니다빈의 슈테판광장최대 번화가인 게른트너스트라세와 그라벤을 잇는 중앙광장으로 랜드마크인 슈테판대성당이 위치하는 빈의 심장부입니다코펜하겐의 니하운덴마크를 소개하는 잡지의 표지에 항상 등장하는 니하운은 세계에서 가장 아름다운 부두로 꼽히며 동화작가 안데르센이 거주한 코펜하겐을 가장 대표하는 장소입니다스톡홀름의 감라스탄감라스탄은 스웨덴의 역사가 담겨 있는 올드타운으로 아기자기하고 좁은 골목들과 역사적인 건축물로 이뤄진 스톡홀름의 가장 상징적인 장소입니다오슬로의 카를요한거리중앙역에서 왕궁까지 이어지는 오슬로의 메인스트리트이자 최대번화가로 오슬로를 방문하는 사람들은 반드시 이곳을 거치게 됩니다프라하의 구시가광장카를교와 연결되는 구시가지의 가장 중심부에 위치한 광장으로 천문시계탑과 인형 퍼포먼스로 유명한 장소입니다로마의 성베드로광장바티칸내에 위치한 성베드로광장은 로마카톨릭의 총본산이자 교황청이 있는곳으로 세계에서 가장 유명하고 성스러운 광장으로 꼽힙니다피렌체의 베키오다리피렌체의 중심부를 흐르는 아르노강의 다리들중 가장 상징적이고 오래된 다리로 이곳을 중심으로 르네상스문화가 꽃피고 다양한 스토리텔링이 탄생하였습니다더블린의 템플바리피강변주변의 템플바는 더블린에서 가장 인기있는 지역으로 수많은 펍과 레스토랑,갤러리가 밀집해있고 다양한 음악과 공연이 펼쳐집니다에든버러의 로열마일에든버러성에서 홀리루드하우스궁전까지 이어지는 올드타운의 메인스트리트로 에든버러를 대표하는 고풍스런 중세건축물과 장소들이 이곳을 중심으로 위치하고있습니다오클랜드의 퀸스트리트오클랜드CBD에 위치한 번화가로 가장 유동인구가 많은 쇼핑거리입니다뉴올리언스의 버번스트리트버번스트리트는 미남부문화의 중심으로 재즈와 소울뮤직의 탄생지이자 뉴올리언스를 상징하는 거리이자 미국에서 가장 유명한 거리중 하나입니다멕시코시티의 소칼로광장도시의 가장 중심부에 위치한 아즈텍왕국의 중심이였던 곳이자 세계에서 2번째로 큰 광장으로 이곳을 중심으로 멕시코시티의 랜드마크인 메트로폴리타나대성당과 대통령궁이 둘러싸고있습니다리우의 코파카바나세계에서 가장 유명한 해변으로 손꼽히는 코파카바나는 4km에 이르는 하얀모래백사장으로 휴양지 리우데자네이루를 상징하는 장소입니다부에노스아이레스의 7/9대로7월9일대로는 부에노스아이레스의 가장 중심이자 랜드마크탑인 오벨리스코가 중앙에 있는 세계에서 가장 넓은 도로로 각종 국가적행사가 펼쳐집니다오사카의 도톤보리도톤보리강을 따라 위치한 오사카의 최대번화가이자 밤문화와 오락지구로 랜드마크인 글리코상이 유명하며 오사카 특유의 분위기를 만끽할수있습니다부산의 해운대해변부산하면 당연히 해운대 바닷가가 가장 먼저 떠오릅니다.
작성자 : NY런던파리고정닉
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