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신기방기 EUV 장비에서 사용되는 기술
이 글보고 문득 생각나서 써보는 글임반도체 장비 기업 ASML은 누구나 한번쯤 들어보았을 것이다이 기업이 반도체 업계에서 슈퍼 을로 통하고 있다는데 그 이유는 바로 EUV장비를 여기에서 밖에 만들지 못하기 때문임EUV(Extreme UltraViolet) 장비는 이름 그대로 극자외선을 이용하는 장비인데그 EUV를 이용해서 원하는 회로패턴을 웨이퍼에 새기는 작업을 함최첨단 반도체 생산을 위해서 반드시 필요한게 EUV장비인데 그걸 ASML이 독점생산하고 있으니아무리 비싸고 만드는데 오래걸려도 반도체 기업들이 줄을 서서 사려고 하는 것임근데 그렇게 중요한 장비라면 왜 다른 기업에서 만들려고 하지 않는 것일까?EUV 장비에서 사용하는 신기한 기술들 몇개를 보면서 그 이유를 알아보자1. 광원 생성EUV를 이용하는 장비이니 당연히 EUV를 생성하는 기능이 있다.하지만 EUV는 13.5nm로 굉장히 짧은 파장을 가지는데이런 빛을 만들기 위해서는 독특한 방법이 필요하다바로 주석(Sn)을 플라즈마화 시키는 것이다.위 움짤을 보면 움직이는 주석 방울에 레이저가 두번 맞는걸 볼 수 있다초속 70미터의 속도로 융용 주석 방울이 발사되면그걸 첫번째 저강도 레이저가 맞혀서 주석 방울을 넓게 퍼뜨려 평평하게 만든다그리고 두번째 고강도 레이저가 맞혀서 주석을 플라즈마로 만들고 EUV를 방출시킨다그리고 이 과정을 초당 5만번 반복한다이렇게 만들어진 빛은 거울로 모아서 웨이퍼로 향하는 광학계로 보내진다2. 광학계EUV 장비 속 광학계, 위에서 움직이는 게 레티클, 아래에서 움직이는게 웨이퍼다EUV의 특성상 극도로 흡수가 잘되기 때문에 광학계에 렌즈는 거의 사용하지 못하고주로 흡수율이 낮은 특수한 거울만든다물론 공기에도 흡수되기때문에 내부는 진공임이 광학계의 정확도는 지구에서 쏜 빛으로 달에 있는 100원 동전을 맞힐 수준이다3.레티클(마스크)레티클, 마스크라고도 하는데 회로패턴이 새겨진 유리판이다일반적인 마스크는 투과형으로 빛이 통과하면서 그 패턴을 가져가는데EUV는 흡수가 되기때문에 마스크도 반사형으로 만들어야한다이 레티클은 빛의 간섭을 이용하는 다층 반사기로 패턴을 구현하였으며레티클을 움직이는 레티클 스테이지는 최고속력 3.2m/s의 관성을 완벽히 상쇄하며웨이퍼 스테이지와 완벽히 동시에 움직여 그 패턴을 새긴다동시에 두 웨이퍼를 처리하는 웨이퍼 스테이지,진공상태를 유지하는 배기시스템이나 온도를 관리하는 쿨링시스템 등그 외 여러가지 기술들이 있지만EUV에서 사용하는 기술들 말고도 ASML이 사용하는 신기한 기술들은 또 있다움직이는 웨이퍼와 렌즈 사이의 공기층을 물로 채워 노광작업을 진행시키는 액침노광기술(공기보다 높은 굴절률을 이용해서 더 좋은 해상도를 구현한다)4096개의 미세거울을 컨트롤해서 렌즈없이 원하는 조명패턴을 만들어내는FlexRay기술등이 있다(간섭패턴에 영향을 줘서 빛의 세기를 높일 수 있음)
작성자 : ㅇㅇ고정닉
한국의 반미 세력은 왜 생겼을까?
분단되고 가난한 나라의 60년대에 태어난 '박정희의 아이들'은 '결손국가 콤플렉스'를 지니고 있었다. 자신의 사회적 정체성을 국가를 중심으로 위치시킨 사내아이들의 꿈은 그 세계관의 정점인 대통령으로 수렴되었다. 대학 진학률이 낮던 시절, 학생 운동을 지휘한 대학생들은 자신들이 새 시대를 열 선택받은 선구자이며, '기존 권위에 대한 부정'과 '신세계를 향한 열망'을 키워나갔다. '광주 학살'은 대학생들의 학생 운동에 있어 분기점이었다. 5.18 민주화 운동 때 미국 항공모함 Coral Sea는 필리핀 시빅 기지를 떠나 한국 근해로 출동했다. 광주 시민들은 미국이 민주시민을 지켜주기 위해 온 것이라 생각했지만, 미군은 한국 내의 소요 사태를 틈타 북한이 도발할까 싶어 억제하기 위해 출동한 것이었다. 또한 미국은 20사단을 포함한 일부 지상군 작전통제권을 한미연합사령부에서 한국군 지휘 하로 넘겨 광주 항쟁 진압을 방조했다. 미국이 신군부의 광주 학살을 방조했다는 이유로 전남대 과격파들은 미국문화원 방화, 점거농성 등 반미투쟁을 이어나가며 '양키 고 홈'을 외쳤다. 80년대 중반 운동권 계파 중 '민족주의'적인 NL(민중민주)은 '독재 정권인 전두환 정부와 사이 좋은 미국 레이건 행정부'를 비판하며 '민주주의를 수호하는 척하면서 자국의 이익을 위해 독재 집권을 옹호하는 모순적인 미국'을 싫어하였다. 반미와 동시에, 일부는 친북 등 주체사상을 추종하며 국가보안법에 저촉되는 노선을 지향하였다. 전두환 군부가 가장 적대시하고 금기시하는 북한에 접근하는 것은 군사정권에 가장 강력한 저항으로 여겨졌다. 그들은 시대의 지배 이념을 부정하고 새로 태어나는 즐거움을 느꼈다. '동포(북한)을 흉측한 괴물로 취급하는 가공스러운 최면 상태'에서 벗어나 '의식화 과정'을 겪고 깨달았다는 것이다. 그들은 그들의 부모 세대와 달리, 역사상 최초로 북한을 직접 겪지 않은 세대였고, '독재 정권이 주입한 북한 악마화'를 지우니, 북녘에 대한 낙관적 상상을 하게된 것이다. 그들은 박정희가 죽은 후에도 독재가 타도되지 않는 이유를 '제국주의 미국'에서 찾았고, 해방된 나라에서 북한을 포함한 민중의 의지로 구현되는 공화국을 꿈꿨다. 또다른 운동권 계파 중 '사회주의'적인 PD(민중민주)는 한국 사회의 계급 갈등, 노사 분쟁 등 자본주의적 문제들을 노동 항쟁과 '아래로부터의 개혁'으로 해결하고자 하였다. 구로공단 파업으로 유명해진 심상정이 대표적인 PD 계열이다. 서유럽의 사민주의를 추구하는 이들은 평등•다문화 등 후기산업사회의 가치를 중시한다. 급진적인 '전대협'은 1988년 '판문점 남북학생회담'과 '서울올림픽 남북공동개최'를 추진하고자 했다. 노태우 정부는 이런 투쟁에 대해 남북교류는 환영하지만, 접촉과 교류를 위한 창구는 정부로 일원화되어야 한다며 불허하고 저지했다. 이런 좌파적 신념에 기반한 운동권 세력은 종북 세력으로 여겨지며 제압당했고, 공산권 소련이 붕괴된 현재에도 내란 선동•체제 전복을 모의한다는 비난과 멸시를 받는다. 이는 운동권 출신 정치인들에게 여전히 꼬리표로 남아 있다. 그들은 스스로 얼마나 중도적인 사람인지 계속 증명해야만 했다. 이러한 과정은 '진보 진영'이 스스로를 '깨어난 자', '자신들을 지지하지 않는 무지한 세력'을 '계몽과 선도의 대상'으로 보게 만들었다. 그들은 자신들은 늘 국민•서민•민중의 편이기에 그들을 대변할 자격이 있으며, 기득권 엘리트를 청산하고 국민들이 진정한 이익을 깨달으면 자신들이 역사의 주인공이자 '100년 정당'이 될 거라 믿어왔다. 그들은 80년대부터 기득권 대 서민, 엘리트 대 민중, 외세 대 민족, 민주 대 반민주 등 이분법적 정치의 싹을 틔웠다. 정당한 정치적 목표를 위해 노력한다고 믿기에, 스스로는 항상 도덕적으로 정당하다고 생각한다. '가진 것은 열정 뿐이던 대학생'들이 사회적•경제적으로 자리 잡으며, 타인의 권리를 빼앗고 부당한 결정을 할 수 있다는 가능성을 인정하지 않게 된다. 운동권 출신 민주당 정치인 중 누군가는 뇌물을 받고, 권력형 성추행을 했고, 개발 사업에 부당히 개입했고, 입시 비리를 저질렀다. 이들은 죽거나, 감옥에 가거나, 자격 정지를 당하거나, 정치권에서 방출당했다. '학생운동 동지'에 대해 도덕적 단죄를 하지 못하는 집단은 집단 전체의 도덕적 기준을 낮추게 되었다. 우리는 도전자일 뿐, 진정한 권력은 적들이 가진 것이기 때문에 우리 편은 권력형 범죄를 저지를 수 없다는 것이다. '노무현의 투신'은 민주당으로 하여금 '검찰의 과잉 수사로 인한 비극', '반대 세력의 불순한 의도를 증명하는 증거', '보수 정당의 먹이가 되었다는 피해의식•복수의식', '더 나은 민주주의를 만들지 못했다는 죄책감과 부채의식'으로 이어졌고, 그를 '지키지 못한 이상'으로 성역화했다. 그러한 만들어진 신화 속에서 지지자들은 '노무현을 한번도 배신하지 않은 후계자'를 적통으로 내세웠다. 전 대통령비서실장이었던 문재인이었다. 촛불시위 이후 당선된 문재인 정부의 탄생은 '노무현에 대한 정치적 복권'이었다.
작성자 : 비기뇽고정닉
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