지금까지 중국의 리소그래피 툴 제조업체는 상하이 마이크로 일렉트로닉스 장비 그룹(SMEE) 한 곳뿐이었다. 그러나 Naura Technology라는 에칭 및 증착을 위한 툴 제조업체가 리소그래피 툴 시장 진출을 위해 2023년 12월부터 연구개발 프로그램을 개시했다고 한다.
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https://www.tomshardware.com/tech-industry/semiconductors/china-aims-to-break-chokehold-of-us-chipmaking-sanctions-naura-technology-to-develop-lithography-tools-for-the-first-time#xenforo-comments-3841216

중국, 미국 칩 제조 제재의 질식 고리를 끊는 것을 목표로 한다 - Naura Technology, 처음으로 리소그래피 도구 개발에 착수

By 안톤 실로프
2024년 4월 3일
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중국이 국내 솔루션을 개발하기 위해 더 많은 노력을 기울이고 있다

중국은 칩 생산을 완전히 자급자족하겠다는 원대한 계획을 가지고 있다. 이를 위해서는 국내 기업들이 자체 웨이퍼 팹 툴을 만들어야 한다. 중국에는 Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)와 Naura Technology 등 성공적인 에칭 및 증착을 위한 툴 제조업체는 있지만, 주목할 만한 리소그래피 툴 제조업체는 상하이 마이크로 일렉트로닉스 장비 그룹(SMEE) 한 곳뿐이(었)다. 하지만 사우스 차이나 모닝 포스트에 따르면, 이제 Naura도 이 시장에 진출할 것으로 보인다.

나우라 테크놀로지는 이미 에칭 및 화학 기상 증착 도구의 성공적인 제조업체이다. 이제 이 회사는 리소그래피 시스템 개발을 위한 초기 연구를 시작했다고 보도는 말한다. 이 전용 프로그램은 2023년 12월에 시작되었으며, 3월 현재 소규모 엔지니어 그룹을 구성하여 리소그래피 시스템을 연구하고 있다. 이는 에칭 및 필름 증착에 대한 기존의 초점을 넘어서는 영역이라고 SCMP는 이 문제에 정통한 소식통을 인용해 보도했다.

이러한 연구 개발 노력은 기존 수출 통제를 우회하려는 시도로 인식하는 미국의 추가 제재를 방지하기 위해 최대한 비밀리에 진행되고 있다. 나우라의 한 관계자는 월요일 SCMP에 보도된 정보가 정확하지 않다고 말했지만 더 자세한 내용은 밝히지 않았다.

나우라의 리소그래피 연구 계획이 성공할 것이라는 보장은 없지만, 미국의 제재를 극복하려는 중국 칩 업계의 결의를 반영한다. 제재는 국가 안보 우려를 이유로 칩 제조, AI 및 HPC 분야에서 중국의 발전을 제한하는 것을 목표로 한다.

블룸버그에 따르면, 미국 정부는 화웨이와 SMIC가 SMIC의 2세대 7nm급 공정 기술로 스마트폰 프로세서를 개발한 후 화웨이 테크놀로지스와 관련된 여러 중국 반도체 회사를 거래제한 기업 목록에 추가하는 방안을 검토 중이라고 한다. 잠재적 표적 중에는 4중 패터닝 관련 특허를 받은 화웨이와 협력하는 정부 지원 칩 툴 제조업체인 SiCarrier도 포함되어 있다.

미국에 본사를 둔 IC 연구 회사 TechInsights의 부회장인 G. 댄 허치슨은 중국의 SAQP [4중 패터닝] 연구에는 Naura와 SMEE 같은 회사가 관여할 가능성이 높다고 말했다. SMEE는 중국에서 가장 성공적인 리소그래피 도구 제조업체로, 28nm 지원 스캐너를 개발했다. 허치슨은 SiCarrier의 기술이 광학 리소그래피의 단계를 에칭 및 증착 단계로 대체하여 ASML에서 생산하는 고급 리소그래피 도구에 대한 의존도를 낮춘다고 말한다. 이를 통해 중국 기업들은 미국, 유럽, 일본 기업의 최신 장비를 사용하지 않고도 첨단 노드에서 칩을 생산할 수 있게 되었다.